三次元形状測定装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：阪本善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998166060
Publication number (International publication number)：1999344329
Application date： May. 29, 1998
Publication date： Dec. 14, 1999
Summary：

【要約】【課題】 2面以上の複数の面から構成される光学素子等の各面の三次元形状を簡単にかつ高精度に測定することができる三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】エアーベアリング7bで支持される回転軸7aとエンコーダ付きモータ7cを備えた割り出し装置7の割り出し駆動により、回転軸7aに取り付けられた測定治具2は回転して精度良く割り出されて位置決めされる。測定治具2に搭載されている測定ワーク15の測定面をプローブ1で走査することにより測定ワーク15の各測定面の三次元形状を測定する。また、測定治具2に配置された少なくとも3個以上の基準球11a、11b...の形状をプローブ1により測定することによって求められる各基準球の中心点を通る仮想平面を基準平面として、この基準平面に対する測定ワーク15の各測定面の相対位置も測定することができる。

Claim (excerpt)：

測定対象物の三次元形状を接触または非接触プローブで走査することによって測定対象物の形状を測定する三次元形状測定装置において、該測定対象物の回転割り出しを行なう手段を設け、該手段の回転軸をエアーベアリングにより支持するようにしたことを特徴とする三次元形状測定装置。

IPC (2)：

G01B 21/20 101 , G01B 21/22

FI (2)：

G01B 21/20 101 Z , G01B 21/22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

3次元計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-350522 Applicant：株式会社ユニスン
座標測定機用ロータリテーブルの校正方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-040069 Applicant：株式会社東京精密
ウェーハその他の薄層体の表面形状測定方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-316058 Applicant：黒田精工株式会社

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