Pat
J-GLOBAL ID:200903039184303441

X線源及びその陽極

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (6): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004147850
Publication number (International publication number):2005332623
Application date: May. 18, 2004
Publication date: Dec. 02, 2005
Summary:
【課題】本発明の目的は、電子ビームのスポットサイズより微小にX線焦点を絞ることの可能なX線源及びその陽極を提供することにある。【解決手段】X線源の陽極8は、基体1上に第1の金属層2と絶縁層3と第2の金属層4が順に形成され、第1の金属層2は第2の金属層4を構成する元素の原子番号より大きい原子番号の元素を有し、絶縁層3及び第2の金属層4には第1の金属層2を部分的に露出するための孔6が開けられている。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
基体上に第1の金属層と絶縁層と第2の金属層が順に形成され、前記第1の金属層は前記第2の金属層を構成する元素の原子番号より大きい原子番号の元素を有し、前記絶縁層及び前記第2の金属層には前記第1の金属層を部分的に露出するための孔が開けられていることを特徴とするX線源の陽極。
IPC (3):
H01J35/08 ,  H01J35/14 ,  H05G1/00
FI (5):
H01J35/08 F ,  H01J35/08 B ,  H01J35/08 C ,  H01J35/14 ,  H05G1/00 E
F-Term (14):
4C092AA01 ,  4C092AB30 ,  4C092AC01 ,  4C092AC08 ,  4C092AC17 ,  4C092BD05 ,  4C092BD11 ,  4C092CC03 ,  4C092CE07 ,  4C092CF02 ,  4C092CF42 ,  4C092CJ11 ,  4C092CJ13 ,  4C092DD20
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
  • マイクロフォーカスX線発生装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2000-136808   Applicant:株式会社島津製作所
  • X線検査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2001-192458   Applicant:株式会社島津製作所
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page