光導波路の製造方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (3)：光石俊郎 , 田中康幸 , 松元洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004151360
Publication number (International publication number)：2005331797
Application date： May. 21, 2004
Publication date： Dec. 02, 2005
Summary：

【課題】上部クラッド層、下部クラッド層の熱膨張係数差に起因する応力の水平方向、垂直方向での不整合を抑圧し、光学特性をTE偏波及びTM偏波で整合させることができる光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】軟化温度がTiである下部クラッド層2の上に形成した軟化温度がTciのコア3bを、温度TがTi<T<Tciとなるような温度Tで熱処理を行うことにより前記コア3bの一部又は全部を下部クラッド層2に沈み込ませる工程を有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

1≦i≦N、軟化温度Ti<軟化温度Tciとした場合の1乃至N層の光導波路の製造方法であって、基板上に軟化温度Tiの第iクラッド層となるガラス膜を成膜する工程と、軟化温度Tciの第iコアとなるガラス膜を成膜する工程と、前記第iコアとなるガラス膜をパターン化して導波路パターンを形成する工程により第i層導波路を作製する工程を有するとともに、任意の第i層導波路を作製する工程のうち少なくとも一工程においては、前記第iコアとなるガラス膜をパターン化して導波路パターンを形成する工程の後に、Ti<T<Tciなる温度Tにて基板全体に熱処理を施し、第iコアを第iクラッド層に沈ませることを特徴とする光導波路の製造方法。

IPC (1)：

G02B6/13

FI (1)：

G02B6/12 M

F-Term (9)：

2H047KA04 , 2H047KA12 , 2H047KB04 , 2H047LA09 , 2H047PA04 , 2H047PA05 , 2H047PA24 , 2H047QA04 , 2H047TA41

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平1-189614
光導波路の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-269862 Applicant：住友電気工業株式会社
光波長合分波器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-040589 Applicant：日本電信電話株式会社

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