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J-GLOBAL ID:200903080989139710
光導波路及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鷲頭 光宏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004018838
Publication number (International publication number):2005215075
Application date: Jan. 27, 2004
Publication date: Aug. 11, 2005
Summary:
【課題】 石英基板を有する光導波路の複屈折のを抑制する。【解決手段】 本発明による光導波路10は、石英基板11と、石英基板11上に設けられたバッファ層12と、バッファ層12上に設けられたコア13a,13bと、コア13a,13bを覆ってバッファ層12上に設けられた上部クラッド14とを備える。本発明では、バッファ層12の熱膨張率と上部クラッド14の熱膨張率とがほぼ等しく設定されており、これによりコア13a,13bにかかる応力が実質的に等方性となることから、複屈折の発生を効果的に抑制することが可能となる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
石英基板と、前記石英基板上に設けられたバッファ層と、前記バッファ層上に設けられた少なくとも一つのコアと、前記コアを覆って前記バッファ層上に設けられた上部クラッドとを備え、前記バッファ層の熱膨張率と前記上部クラッドの熱膨張率とがほぼ等しいことを特徴とする光導波路。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (7):
2H047KA04
, 2H047PA05
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047QA04
, 2H047TA22
, 2H047TA23
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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石英系光導波路とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-131047
Applicant:古河電気工業株式会社
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光導波路の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-114502
Applicant:住友電気工業株式会社
-
光導波路構造及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-302979
Applicant:三菱電線工業株式会社
-
光導波路デバイスの作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-385554
Applicant:住友電気工業株式会社
-
光導波路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-202413
Applicant:古河電気工業株式会社
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Cited by examiner (9)
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光導波路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-202413
Applicant:古河電気工業株式会社
-
光導波路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-142611
Applicant:ミノルタ株式会社
-
薄膜光導波路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-040962
Applicant:ミノルタ株式会社
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光導波路構造及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-302979
Applicant:三菱電線工業株式会社
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特開平1-202702
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特開平3-075606
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光導波路の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-047009
Applicant:日立電線株式会社
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特開平1-169406
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光導波路の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-047936
Applicant:三菱電機株式会社
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