Pat
J-GLOBAL ID：200903039974286911

マーク位置検出装置

Inventor：
福井 達雄

About 福井 達雄


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001346622
Publication number (International publication number)：2003151879
Application date： Nov. 12, 2001
Publication date： May. 23, 2003
Summary：
【要約】【課題】 マークの像を形成する結像光学系に歪曲収差が残存していても、マークの位置を正確に検出できるマーク位置検出装置を提供する。【解決手段】 基板11上の被検マーク30を照明する照明手段(13〜19)と、被検マークからの光L2を結像して、被検マークの像を形成する結像光学系(19〜24)と、結像光学系の一部の光学素子20を光軸O2に垂直なX軸,Y軸を中心としてチルト可能に支持する光学素子支持手段20aと、結像光学系によって形成された被検マークの像を撮像して画像信号を出力する撮像手段25と、撮像手段から画像信号を入力して、被検マークの位置を算出する算出手段26とを備える。
Claim (excerpt)：
基板上の被検マークを照明する照明手段と、前記被検マークからの光を結像して、前記被検マークの像を形成する結像光学系と、前記結像光学系の一部の光学素子を前記結像光学系の光軸に垂直な軸を中心としてチルト可能に支持する光学素子支持手段と、前記結像光学系によって形成された前記被検マークの像を撮像して画像信号を出力する撮像手段と、前記撮像手段から前記画像信号を入力して、前記被検マークの位置を算出する算出手段とを備えたことを特徴とするマーク位置検出装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00
FI (3)：
G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 R
F-Term (35)：
2F065AA01 ,  2F065AA07 ,  2F065AA12 ,  2F065AA14 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065AA45 ,  2F065BB02 ,  2F065BB17 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065EE08 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065NN03 ,  2F065NN17 ,  2F065NN20 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065TT08 ,  5F046FA10 ,  5F046FB17 ,  5F046FB19 ,  5F046FC04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM