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J-GLOBAL ID：200903048529972278

アライメント装置、収差測定方法、及び収差測定マーク

Inventor：
野村 博

About 野村 博


Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

About 株式会社東芝


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999373070
Publication number (International publication number)：2001189256
Application date： Dec. 28, 1999
Publication date： Jul. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 アライメント装置毎あるいはアライメントマーク毎に差が生じているアライメントオフセットを低減する。【解決手段】 照明光学系1を介して基板4上に形成されたアライメントマークを照明し、アライメントマークの像を、拡大光学系5を用いてCCDカメラ6の受光面に投影してアライメントマークの位置を測定するアライメント装置において、拡大光学系5にコマ収差の偏心成分を平行移動させる任意に傾きを調整可能な平行平面板7を設ける。
Claim (excerpt)：
下地基板上に形成されたアライメントマークを照明する照明光学系と、前記アライメントマークの像を拡大する拡大光学系と、前記拡大光学系を通した光の像を受光する検出器と、前記検出器に入射する光の軸に対する傾きを変えることによりコマ収差の分布を平行移動させる光学系とを具備し、前記光学系には、前記コマ収差の偏心を補正する調整機構が設けられていることを特徴とするアライメント装置。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00
FI (2)：
G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 R
F-Term (10)：
5F046AA25 ,  5F046CB19 ,  5F046DA13 ,  5F046DB05 ,  5F046EA03 ,  5F046EA10 ,  5F046EB01 ,  5F046FA10 ,  5F046FB11 ,  5F046FB17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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