赤外線検出器

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：宮田金雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996041322
Publication number (International publication number)：1997229765
Application date： Feb. 28, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】マイクロポロメータ型2次元アレイ赤外線検出素子を搭載する低コストの赤外線検出器を得る。【解決手段】ベースプレート5の上に電子冷却素子2を実装し、電子冷却素子2の上に赤外線検出素子1を実装する構造とし、端面が赤外線素子1の近傍に位置するようにしたセラミックス気密端子9と、赤外線検出素子1と気密端子9間を配線するワイヤボンディング8と、気密端子9を装着した金属材料からなるベースプレート5と、赤外線を透過するウインドウ6と、ウインドウ6を装着する金属材料からなるキャップ11と、ベースプレート5とキャップ11を溶接封止する構造と、真空中への放出ガスを吸着するゲッタ10と、真空排気用のチップ管7を備える。

Claim (excerpt)：

赤外線を検出する非冷却型赤外線検出素子と、前記赤外線検出素子の温度を所定の温度にするための冷却素子と、セラミックス気密端子と、前記赤外線検出素子と前記気密端子間を配線するワイヤボンディングと、前記気密端子を装着した金属材料からなるベースプレートと、赤外線を透過するウインドウと、前記ウインドウを装着する金属材料からなるキャップと、前記ベースプレートと前記キャップを溶接封止する構造と、真空中への放出ガスを吸着するゲッタと、真空排気用のチップ管とを備えたことを特徴とする赤外線検出器。

IPC (2)：

G01J 1/02 , H01L 31/02

FI (2)：

G01J 1/02 Q , H01L 31/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開昭52-012878
特表平7-508384
電子冷却型赤外線検知器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-045760 Applicant：富士通株式会社

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