Pat
J-GLOBAL ID：200903040360746671

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

Inventor：
杉山 香葉

About 杉山 香葉

, 
谷津 修

About 谷津 修

, 
工藤 祐司

About 工藤 祐司


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996353023
Publication number (International publication number)：1998189427
Application date： Dec. 13, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：
【要約】【課題】 多光源の形状または大きさの変更に伴う照度むらの補正に起因して発生する光学特性の変化を簡素な調整機構で補正する。【解決手段】 変更手段(3)による多光源の形状または大きさの変更に起因して被照射面において発生する照度むらを補正するための第1補正手段(21、4B)と、第1補正手段の補正作用に起因して発生するコンデンサー光学系のバックフォーカスの変化と被照射面での照明光のテレセントリシティの変化とのうちの少なくとも一方の変化を補正するための第2補正手段(22、4A1)とをさらに備えている。
Claim (excerpt)：
光束を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて複数の光源像からなる多光源を形成するためのオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータにより形成された多光源の形状または大きさを変更するための変更手段と、該変更手段により変更された形状または大きさを有する多光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、前記変更手段による多光源の形状または大きさの変更に起因して前記被照射面において発生する照度むらを補正するための第1補正手段と、前記第1補正手段の補正作用に起因して発生する前記コンデンサー光学系のバックフォーカスの変化と前記被照射面での照明光のテレセントリシティの変化とのうちの少なくとも一方の変化を補正するための第2補正手段とをさらに備えていることを特徴とする照明光学装置。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (3)：
H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM