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J-GLOBAL ID：200903040606499830

基板処理装置

Inventor：
木瀬 一夫

About 木瀬 一夫


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (1)： 稲岡 耕作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996170204
Publication number (International publication number)：1998022358
Application date： Jun. 28, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：
【要約】【解決手段】ガラス基板2が収納されたカセット3をY方向に沿って載置するインデクサ4、スピンスクラバSSなどの発熱を伴わない処理を行う処理ユニットがY方向に沿って配列された第1ユニット部7、および加熱ユニットHP等の発熱を伴う処理を行う処理ユニットがY方向に沿って配列された第2ユニット部8がほぼ並行に配置され、その間に、Y方向に沿って往復移動可能な搬送ロボット10,11を備えた搬送路1,9が配置されている。【効果】搬送ロボットは処理ユニットの配列方向に沿って往復移動できるから、処理順序を任意に設定できる。また、処理ユニットで発生する熱の影響をインデクサのガラス基板は受けないから、ガラス基板の品質を高いレベルで維持できる。
Claim (excerpt)：
所定の搬送方向に沿う第1の搬送路上を移動することができ、この第1の搬送路上の複数の位置において基板移載動作を行うことができる第1の搬送手段と、第1の搬送路の一方側に配置され、複数の基板を収納するためのカセットが載置されるカセット載置部と、第1の搬送路の他方側において、前記搬送方向と交差する方向に沿って配列され、基板に予め定める処理を施すための処理ユニットをそれぞれ含む複数のユニット部と、各ユニット部間に配置され、前記搬送方向に沿う第2の搬送路上を移動することができ、この第2の搬送路上の複数の位置において基板移載動作を行うことができる第2の搬送手段とを含み、前記第1の搬送手段は、カセット載置部に載置されているカセットに対して基板移載動作を行うことができ、かつ上記複数のユニット部のうち第1の搬送路に最も近接して配置されているユニット部に含まれている処理ユニットに対して基板移載動作を行うことができるものであり、前記第2の搬送手段は、当該第2の搬送手段の両側にそれぞれ配置されている各ユニット部に含まれている処理ユニットに対して基板移載動作を行うことができるものであることを特徴とする基板処理装置。
IPC (2)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/07
FI (2)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 L
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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