感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメント

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001379639
Publication number (International publication number)：2003177524
Application date： Dec. 13, 2001
Publication date： Jun. 27, 2003
Summary：

【要約】【課題】低露光量でもパターン形成性に優れ、かつ高温状態で放置しても退色等の色調変化がない感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性エレメントを提供すること。【解決手段】バインダー樹脂〔A〕、エチレン性不飽和化合物〔B〕およびロフィン二量体(C1)、N-アリールグリシン(C2)、アルキルアミノベンゾフェノン(C3)を含有する光重合開始剤〔C〕、下記一般式(1)で示される化合物〔D〕を含有する感光性樹脂組成物及びそれを用いてなる感光性エレメント。(R1、R2はそれぞれ独立に置換、非置換のフェニル基、Rは置換、非置換のアルキル基、フェニル基を示す。)

Claim (excerpt)：

バインダー樹脂〔A〕、エチレン性不飽和化合物〔B〕およびロフィン二量体(C1)、N-アリールグリシン(C2)、アルキルアミノベンゾフェノン(C3)を含有する光重合開始剤〔C〕、下記一般式(1)で示される化合物〔D〕を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(R1、R2はそれぞれ独立に置換、非置換のフェニル基、Rは置換、非置換のアルキル基、フェニル基を示す。)

IPC (8)：

G03F 7/004 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , C08F 2/44 , C08F 2/50 , C08F291/00 , G03F 7/031 , H05K 3/00

FI (9)：

G03F 7/004 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , C08F 2/44 B , C08F 2/44 C , C08F 2/50 , C08F291/00 , G03F 7/031 , H05K 3/00 F

F-Term (41)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA03 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB43 , 2H025CC13 , 2H025CC20 , 4J011PA27 , 4J011PA36 , 4J011PA43 , 4J011PA69 , 4J011PA86 , 4J011PA88 , 4J011PA96 , 4J011QA03 , 4J011QA04 , 4J011QA12 , 4J011QA22 , 4J011SA25 , 4J011SA78 , 4J011SA84 , 4J026AA42 , 4J026AB04 , 4J026AB07 , 4J026AB28 , 4J026AC09 , 4J026BA27 , 4J026BA28 , 4J026BA29 , 4J026BA30 , 4J026BA39 , 4J026DB06 , 4J026DB36 , 4J026FA05 , 4J026GA07 , 4J026GA08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-287457 Applicant：日本合成化学工業株式会社
フォトレジストフィルム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-279696 Applicant：日本合成化学工業株式会社
サンドブラスト用感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-335155 Applicant：東京応化工業株式会社

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