プラズマ発生電極及びプラズマ反応器

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：渡邉一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003432284
Publication number (International publication number)：2005188424
Application date： Dec. 26, 2003
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：

【課題】局所的にプラズマ発生電極に温度差が生じた場合であっても、熱応力を緩和して、温度変化による電極の歪みや破損を有効に防止することができるとともに、均一かつ安定なプラズマを発生させることが可能であり、耐熱性に優れたプラズマ発生電極及びプラズマ反応器を提供する。【解決手段】互いに対向する電極2,2のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体と、セラミック体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、保持部材3が、対向する電極2の一方の端部(固定端部5a)を片持ち梁の状態で固定して、全体として電極2のそれぞれを、互い違いに向きの異なった片持ち梁の状態で、所定間隔に隔てて保持し、且つプラズマ電極の組立時及び/又はプラズマ発生時に電極2の他方の端面(自由端部5b)を、保持部材3と接触状態にする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

互いに対向する二以上の電極と、前記電極のそれぞれを所定間隔に隔てて保持する保持部材とを備えてなり、前記電極相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、互いに対向する前記電極のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体と、前記セラミック体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、前記保持部材が、対向する前記電極の一方の端部(固定端部)を片持ち梁の状態で固定して、全体として前記電極のそれぞれを、互い違いに向きの異なった片持ち梁の状態で、所定間隔に隔てて保持し、且つ前記プラズマ電極の組立時及び/又はプラズマ発生時に前記電極の他方の端面(自由端部)が、前記保持部材と接触状態にあるプラズマ発生電極。

IPC (7)：

F01N3/08 , B01D53/34 , B01D53/56 , B01D53/74 , B01J19/08 , F01N3/02 , H05H1/24

FI (6)：

F01N3/08 C , B01J19/08 E , F01N3/02 301F , H05H1/24 , B01D53/34 , B01D53/34 129C

F-Term (27)：

3G090AA01 , 3G090AA06 , 3G090BA01 , 3G090CA03 , 3G091AB14 , 3G091BA10 , 3G091BA13 , 3G091BA14 , 3G091BA15 , 3G091BA19 , 3G091GB17Z , 4D002AA08 , 4D002AA12 , 4D002AA33 , 4D002BA07 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075CA15 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EC21 , 4G075EE12 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FC11 , 4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

プラズマ排気ガス処理システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-351382 Applicant：三菱自動車工業株式会社

Cited by examiner (7)

特開平1-163413
常圧プラズマガスノズル体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-369533 Applicant：積水化学工業株式会社
排ガス浄化処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-185899 Applicant：株式会社エクォス・リサーチ, アイシン・エィ・ダブリュ株式会社

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