Pat
J-GLOBAL ID：200903041150199291

パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法

Inventor：
南 一守

About 南 一守

, 
佐藤 守正

About 佐藤 守正


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (3)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005061575
Publication number (International publication number)：2006243559
Application date： Mar. 04, 2005
Publication date： Sep. 14, 2006
Summary：
【課題】 感光層の面状検査時における視認性等の取り扱い性に優れ、かつ、感光層の優れた面状及び感度が得られるパターン形成材料、及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。【解決手段】 支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有し、該感光層がバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び着色染料を含み、かつ、該着色染料0.5質量%のメチルエチルケトン溶解液の孔径0.45μmフィルターでの濾過圧が、0.3MPa以下の着色染料であることことを特徴とするパターン形成材料である。前記染料は、イオン性染料であることが好ましく、該イオン性染料のカウンターアニオンが、ナフタレンスルホン酸であること,特に、ビクトリアピュアブルーNAPSであることが好ましい。該感光層に対し、露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とするパターン形成方法である。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有し、該感光層がバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び着色染料を含み、かつ、該着色染料0.5質量%のメチルエチルケトン溶解液の孔径0.45μmフィルターでの濾過圧が、0.3MPa以下の着色染料であることを特徴とするパターン形成材料。
IPC (4)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/20 ,  H05K 3/00
FI (9)：
G03F7/004 505 ,  G03F7/004 502 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/027 513 ,  G03F7/20 501 ,  H05K3/00 F ,  H05K3/00 G ,  H05K3/00 H
F-Term (20)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC65 ,  2H025CA00 ,  2H025CB00 ,  2H025CC13 ,  2H025FA17 ,  2H097AA04 ,  2H097AB05 ,  2H097CA06 ,  2H097CA17 ,  2H097FA06 ,  2H097FA10 ,  2H097LA09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 特開昭59-107344号公報
  • 特開昭60-57340号公報
  • 感光性樹脂組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-297430   Applicant：三菱レイヨン株式会社
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Cited by examiner (8)
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