インクジェット記録用プリンタヘッド及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996081751
Publication number (International publication number)：1997254386
Application date： Apr. 03, 1996
Publication date： Sep. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】高圧電性の圧電体を担持でき、ノズルの高耐久性化、及び高歩留まり化を実現できるインクジェット記録用プリンタヘッドを提供すること。【解決手段】上部電極106、圧電体膜105、及び下部電極104からなる圧電体素子が、珪素基板101上に直接接触して担持された酸化ジルコニウム膜103上に形成されている。製造方法は、単斜晶系酸化ジルコニウム膜103形成後に結晶相転移温度以上で熱処理するか、特定膜厚金属ジルコニウム膜及び圧電体前駆体膜の成膜後に、酸素を含む雰囲気中で熱酸化する。

Claim (excerpt)：

貫通孔を有する単結晶珪素基板と、その珪素基板の貫通孔の一方の開口部を覆うように珪素基板表面に直接接触するか又はその珪素基板表面の酸化珪素層に直接接触する酸化ジルコニウム膜と、その酸化ジルコニウム膜上の下部電極と、その下部電極上の圧電体膜と、その圧電体膜上の上部電極とを含むインクジェット記録用プリンタヘッド。

IPC (3)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

インクジェット記録ヘッドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-088875 Applicant：セイコーエプソン株式会社
インクジェットヘッドとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-067268 Applicant：富士通株式会社
圧電/電歪膜型素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-358979 Applicant：日本碍子株式会社

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