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J-GLOBAL ID：200903041516317004

ガスセンサ

Inventor：
高橋 良文

About 高橋 良文

, 
斉藤 崇記

About 斉藤 崇記

, 
中村 賢一

About 中村 賢一


Applicant, Patent owner：
アンリツ株式会社

About アンリツ株式会社


Agent (1)： 早川 誠志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005083158
Publication number (International publication number)：2006266771
Application date： Mar. 23, 2005
Publication date： Oct. 05, 2006
Summary：
【課題】 複数ガスの高速検出が可能なガスセンサを提供する。【解決手段】 半導体レーザ22と、半導体レーザ22を外部共振モードで発振させるための回折格子23、MEMSスキャナ30を含み、半導体レーザ22の端面22bに直交する方向に出射される光Wの波長を、MEMSスキャナ30の駆動により検出対象ガス固有の吸収スペクトル波長を含む波長範囲で掃引し、その波長掃引された光Wを検出対象ガス雰囲気に入射する外部共振型の波長掃引光源21と、検出対象ガス雰囲気を透過した光W′を受けてその光強度を検出する受光素子70とを備えている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
光源(22、22′)、回折格子(23)およびMEMSスキャナ(30)を含み、特定方向に出射される光の波長を、前記MEMSスキャナの駆動により検出対象ガス固有の吸収スペクトル波長を含む波長範囲で掃引し、該波長掃引された光を検出対象ガス雰囲気に入射する波長掃引光源(21)と、 前記検出対象ガス雰囲気を透過した光を受けてその光強度を検出する受光素子(70)とを備えたガスセンサ。
IPC (1)：
G01N 21/39
FI (1)：
G01N21/39
F-Term (16)：
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059CC05 ,  2G059CC13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF10 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059HH08 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ15 ,  2G059MM10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 光式ガスセンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-306565   Applicant：日立電線株式会社
Cited by examiner (7)
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