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J-GLOBAL ID：200903042060240540

被覆層現像用界面活性剤水溶液

Inventor：
神田 崇

About 神田 崇


Applicant, Patent owner：
クラリアント ジャパン 株式会社

About クラリアント ジャパン 株式会社


Agent (1)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000237099
Publication number (International publication number)：2002049161
Application date： Aug. 04, 2000
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】 従来の方法で形成されたレジストパターンに水溶性樹脂被覆層を施し、この被覆層をレジストから供給される酸により架橋した後、被覆層の未架橋部を現像液により溶解除去することによりレジストパターンを太らせ、トレンチパターンやホールパターンを実効的に微細化する際に、パターンのブリッジングやスカムなどによるパターン欠陥の発生を抑制し、縮小寸法制御性の高い微細化パターンを得る。【構成】 水溶性樹脂被覆層の現像液として、N-アシルサルコシネート、N-アシル-N-メチルアラニネート、N-アシルタウリネート、N-アシル-N-メチルタウリネート、脂肪酸アルキロールアミドおよび脂肪酸アルキロールアミドポリオキシエチレン付加物から選ばれた少なくとも1種の界面活性剤を含有する水溶液を用いる。この水溶液には水に溶解する溶剤が含まれていてもよい。
Claim (excerpt)：
界面活性剤および水あるいは水と有機溶剤の混合物からなる被覆層現像用界面活性剤水溶液において、前記界面活性剤がN-アシルサルコシネート、N-アシル-N-メチルアラニネート、N-アシルタウリネート、N-アシル-N-メチルタウリネート、脂肪酸アルキロールアミドおよび脂肪酸アルキロールアミドポリオキシエチレン付加物から選ばれた少なくとも1種からなることを特徴とする被覆層現像用界面活性剤水溶液。
IPC (2)：
G03F 7/40 511 ,  H01L 21/027
FI (2)：
G03F 7/40 511 ,  H01L 21/30 570
F-Term (8)：
2H096AA25 ,  2H096BA05 ,  2H096EA03 ,  2H096EA05 ,  2H096HA30 ,  2H096LA30 ,  5F046AA28 ,  5F046LA12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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