基板検査装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998264342
Publication number (International publication number)：1999160242
Application date： Sep. 18, 1998
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】小型化を実現できるとともに、被検査基板に対し精度の高い欠陥検査を効率よく行なうことができる基板検査装置を提供すること。【解決手段】被検査基板3を保持する基板保持手段(2)と、この基板保持手段(2)を所定角度まで立ち上げる駆動手段と、前記基板保持手段(2)に、前記被検査基板3の側縁の少なくとも2方向に沿って設けられ、前記被検査基板3上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出手段と(19,20)、ミクロ観察系(9)を支持し、前記被検査基板3の面上を移動するよう設けられた観察系支持手段(6)と、前記位置座標検出手段(19,20)により検出された欠陥部の位置座標に基づいて、前記観察系支持手段(6)のミクロ観察系(9)を前記被検査基板3上の対応する欠陥部上に位置するよう移動制御する制御手段(11)と、を具備。

Claim (excerpt)：

被検査基板を保持する基板保持手段と、この基板保持手段を所定角度まで立ち上げる駆動手段と、前記基板保持手段に、前記被検査基板の側縁の少なくとも2方向に沿って設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出手段と、ミクロ観察系を支持し、前記被検査基板の面上を移動するよう設けられた観察系支持手段と、前記位置座標検出手段により検出された欠陥部の位置座標に基づいて、前記観察系支持手段のミクロ観察系を前記被検査基板上の対応する欠陥部上に位置するよう移動制御する制御手段と、を具備したことを特徴とする基板検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G02F 1/13 101

FI (2)：

G01N 21/88 650 , G02F 1/13 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

欠陥検査方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-263366 Applicant：株式会社ニコン
パターン目視検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-183092 Applicant：シャープ株式会社
位置読取り可能なマクロ検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-031061 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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