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J-GLOBAL ID:200903042320674190
積層配線板およびその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
岡戸 昭佳 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001234901
Publication number (International publication number):2003046248
Application date: Aug. 02, 2001
Publication date: Feb. 14, 2003
Summary:
【要約】【課題】 絶縁層の厚さが比較的大きい層間接続構造を形成する際のビアホールの充填を容易にし,高密度なパターン形成ができる積層配線板およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 銅箔11,12と樹脂層10とからなる両面銅付き樹脂板の両面をエッチングして穴を開ける。それぞれの穴からレーザ加工を施し,テーパー形状の頂部同士を付き合わせた形状の穴13を形成する。次に,穴13をフィルドめっきにより充填する。この状態での積層配線板の銅めっき層41および銅箔11,21に,回路パターンを形成する。これにより,導体層100と導体層200とが,ビアホール13により層間接続されている積層配線板1000が製造できる。
Claim (excerpt):
導体層と層間絶縁層とを交互に積層してなる積層配線板において,ある導体層と他のある導体層とを導通する層間接続箇所を有し,前記層間接続箇所は,テーパー形状の頂部同士を付き合わせた形状であるとともに,導体で充填されていることを特徴とする積層配線板。
IPC (2):
FI (3):
H05K 3/46 N
, H05K 3/46 X
, H05K 3/40 K
F-Term (31):
5E317AA24
, 5E317AA25
, 5E317BB01
, 5E317BB12
, 5E317CC25
, 5E317CC33
, 5E317CD27
, 5E317CD32
, 5E317GG14
, 5E317GG16
, 5E346AA12
, 5E346AA15
, 5E346AA32
, 5E346AA43
, 5E346AA51
, 5E346CC08
, 5E346CC32
, 5E346DD12
, 5E346DD32
, 5E346EE06
, 5E346EE09
, 5E346EE13
, 5E346FF04
, 5E346FF07
, 5E346FF12
, 5E346GG15
, 5E346GG17
, 5E346GG22
, 5E346GG28
, 5E346HH26
, 5E346HH31
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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特開平2-133988
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回路基板、回路基板の製造方法、回路基板の検査方法および回路基板の製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-335645
Applicant:株式会社東芝
-
特開平3-188696
-
プリント配線板の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-295010
Applicant:日立エーアイシー株式会社
-
特開昭63-177586
-
薄膜多層配線実装基板の製造方法及び製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-262054
Applicant:株式会社日立製作所
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