感光性樹脂組成物

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006266716
Publication number (International publication number)：2007133377
Application date： Sep. 29, 2006
Publication date： May. 31, 2007
Summary：

【課題】アルカリ現像可能で、高感度であり、現像スカムを生じることなくパターンが得られ、かつ金属上でパターン加工を行った場合でも下地金属を腐食しないポリイミド膜を形成することのできる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(a)アルカリ可溶性ポリイミドおよび/またはアルカリ可溶性ポリイミド前駆体、(b)不飽和結合含有化合物および(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(c)光重合開始剤が1つのフェニル基は置換されているトリフェニルビイミダゾール化合物および/またはカルバゾール基を有するオキシム化合物を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ可溶性ポリイミドおよび/またはアルカリ可溶性ポリイミド前駆体、(b)不飽和結合含有化合物および(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(c)光重合開始剤が一般式(1)で表されるビイミダゾール化合物および/または一般式(2)で表されるオキシム化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/031 , G03F 7/037 , G03F 7/004 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F7/031 , G03F7/037 501 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R

F-Term (16)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC43 , 2H025CA01 , 2H025CA22 , 2H025CA28 , 2H025CB25 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

特開昭54-109828号公報(第1-3頁)
感光性重合体組成物並びにこれを用いた電子部品及びその製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-181450 Applicant：日立化成工業株式会社
特開平3-220558号公報(第1-3頁)

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Cited by examiner (1)

感光性ポリイミド前駆体組成物及びこれを用いたパターンの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-259072 Applicant：日立化成工業株式会社

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