化学・物理現象検出装置

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006103253
Publication number (International publication number)：2007278760
Application date： Apr. 04, 2006
Publication date： Oct. 25, 2007
Summary：

【課題】累積型化学・物理現象検出装置の感度を向上させる。【解決手段】センシング部の電荷をフローティングディフュージョン部へ移動した後にフローティングディフュージョンの電位変化を、FETを用いて読み出す。このFETに、より低雑音なJFET(接合型電界効果トランジスタ)を用いることを特徴とする。さらにフローティングディフュージョン領域とJFETのゲート電極を兼ね合わせた構造とし、小型化と更なる低雑音化を図る。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

センシング部の電荷をフローティングディフュージョン部へ累積させ、該フローティングディフュージョン部に蓄積された電荷に基づく出力信号から化学・物理量を特定する化学・物理現象検出方法であって、該フローティングディフュージョン部の電位変化を接合型電界効果トランジスタ(Junction Field-Effect Transistor:JFET)で検出することを特徴とする化学・物理現象検出装置。

IPC (3)：

G01N 27/414 , H01L 21/337 , H01L 29/808

FI (2)：

G01N27/30 301Z , H01L29/80 C

F-Term (5)：

5F102GA01 , 5F102GB01 , 5F102GC01 , 5F102GD04 , 5F102GJ03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

物理現象または化学現象の測定方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-157716 Applicant：株式会社堀場製作所
累積型化学・物理現象検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-293669 Applicant：科学技術振興事業団
特願2005-69501号公報

Cited by examiner (6)

固体撮像素子の出力装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-187206 Applicant：株式会社東芝
電荷転送素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-234011 Applicant：日本電気株式会社
特開平2-005441

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