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J-GLOBAL ID：200903043103255984

吸着固定用シートおよびその固定用シートを用いる吸着固定方法

Inventor： 橘 俊光 ,  森山 順一 ,  上田 善一 ,  長井 陽三
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995063642
Publication number (International publication number)：1996257474
Application date： Mar. 23, 1995
Publication date： Oct. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 液晶用ガラス板、半導体ウエハ、セラミックコンデンサやセラミック基板の精密切断、液晶用ガラス板や半導体ウエハへの精密塗工等を吸着固定法により行う場合に用いる吸着固定用シートおよびそのシートを用いる吸着固定法に関するものである。【構成】 通気性シートの少なくとも片面に部分的に接着剤層が設けられた吸着固定用シートであり、このシートを用いて吸着固定するにはこれを基台上に配置し、通気性シートに部分的に設けられた接着剤層に被加工体を接着する。

Claim (excerpt)：

通気性シートの少なくとも片面に部分的に接着剤層が設けられていることを特徴とする吸着固定用シート。

IPC (10)：

B05C 13/02 ,  B05D 3/00 ,  B28D 7/04 ,  B29D 9/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01G 4/12 364 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/301 ,  H01L 21/304 321 ,  H05K 3/00

FI (10)：

B05C 13/02 ,  B05D 3/00 C ,  B28D 7/04 ,  B29D 9/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01G 4/12 364 ,  H01L 21/68 P ,  H01L 21/304 321 B ,  H05K 3/00 J ,  H01L 21/78 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-241629   Applicant：富士通株式会社
• ペレツト取り出し装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-191639   Applicant：関西日本電気株式会社
• ダイシング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-321174   Applicant：株式会社村田製作所