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J-GLOBAL ID:200903044025968207
熱電材料の熱物性値を測定する方法および熱電材料測定装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006230466
Publication number (International publication number):2008051744
Application date: Aug. 28, 2006
Publication date: Mar. 06, 2008
Summary:
【課題】熱電材料の熱電能分布を測定すると共に熱伝導率を測定することができる熱電材料測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】熱電材料測定装置は、被測定材料の測定表面を撮影する光学カメラ、加熱ヒータが装備されたプローブ、被測定材料を載置して測定ポイントを位置決めするステージ機構、これらを駆動する制御装置、および測定データのデータ処理を行うデータ処理装置を備え、被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能と表面光学画像を1度の測定で収集して2次元平面位置情報と熱物性値の相関を解析する。熱電材料測定装置において、被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能の測定は、加熱されたプローブに組み込まれた微小熱流計により測定された熱流によって、プローブ接触点の被測定試料の表面温度を正確に推定することにより行う。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
被測定材料の測定表面を撮影する光学カメラ、加熱ヒータが装備されたプローブ、被測定材料を載置して測定ポイントを位置決めするステージ機構、これらを駆動する制御装置、および測定データのデータ処理を行うデータ処理装置を備え、
被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能と表面光学画像を1度の測定で収集し2次元平面位置情報と熱物性値の相関を解析する
ことを特徴とする熱電材料測定装置。
IPC (5):
G01N 25/00
, H01L 35/28
, G01N 25/18
, G01K 17/00
, G01K 7/02
FI (5):
G01N25/00 B
, H01L35/28 Z
, G01N25/18 E
, G01K17/00 A
, G01K7/02 Z
F-Term (14):
2G040AB08
, 2G040AB09
, 2G040AB18
, 2G040BA08
, 2G040BA27
, 2G040CA01
, 2G040CA29
, 2G040DA03
, 2G040EA02
, 2G040EB02
, 2G040EC03
, 2G040FA04
, 2G040GC01
, 2G040ZA05
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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熱電変換材料の評価方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-084725
Applicant:独立行政法人産業技術総合研究所
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ウエハの位置把握方法並びに露光方法及び露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-097367
Applicant:日立金属株式会社
-
半導体材料の熱電特性評価方法および評価装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-329464
Applicant:日産自動車株式会社
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走査型熱伝導分布計測装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-364917
Applicant:株式会社ニコン
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