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J-GLOBAL ID：200903044458092462

露光装置用のクリーニング装置

Inventor：
町野 勝弥

About 町野 勝弥


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994252243
Publication number (International publication number)：1996115868
Application date： Oct. 18, 1994
Publication date： May. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ウエハホルダ上の種々の異物を自動的に且つ容易に除去する。【構成】 ウエハホルダ9上に、回転アーム20Aによりスクラブユニット21の有機材料研磨材32A〜32C、及び高硬度研磨材33A〜33Cを圧接した状態で、駆動モータ26により遊星歯車方式で歯車27A,27B,27Cを回転させて、それらの歯車に連結された駆動ローラ28A,28B,...を回転させることにより、ウエハホルダ9上でそれらの研磨材を摺動させる。圧力センサ31により検出した圧接力に基づいてそれらの研磨材の圧接力を調整すると共に、研磨により落ちた異物を排気ダクト25を介して外部に排出する。
Claim (excerpt)：
マスクパターンを基板保持部材上に保持された感光性の基板上に露光する露光装置に備えられ、前記基板保持部材の表面の清掃を行う装置において、固形状の第1の清掃部材と、有機系材料を含む第2の清掃部材と、前記第1及び第2の清掃部材を前記基板保持部材の表面に接触させて付勢する加圧手段と、前記第1及び第2の清掃部材を前記基板保持部材の表面で動かす駆動手段と、前記加圧手段により前記基板保持部材の表面に加えられる圧接力を検出する圧接力検出手段と、該圧接力検出手段により検出された圧接力に基づいて前記加圧手段から前記基板保持部材に加えられる圧接力を制御する圧接力制御手段と、を有することを特徴とする露光装置用のクリーニング装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03B 27/52 ,  G03F 7/20 521
FI (2)：
H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 503 G
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
  • 露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-230069   Applicant：株式会社ニコン
  • 特開平1-181519
  • 特開昭63-034929
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Cited by examiner (7)
  • 露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-230069   Applicant：株式会社ニコン
  • 特開平1-181519
  • 特開昭63-034929
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