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J-GLOBAL ID：200903044636989617

微小接触式プローバー

Inventor：
安武 正敏

About 安武 正敏


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999303804
Publication number (International publication number)：2001124798
Application date： Oct. 26, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：
【要約】【課題】 微細化された個々のセルに直接接触し、電気的評価が行なえるようにする。また押し付け力が制御されたことにより押し込み不足による接触不良や、押し込み過ぎによるセルの薄膜へのダメージを与えること無しに電気的評価が行なえるようにする。【解決手段】 金属製のプローブをやめ、原子間力顕微鏡等で使用されているマイクロファブリケーションプロセスによるシリコンをベース材料とした微小プローブを使用した。このプローブ(カンチレバー部)は複数個の被検体測定端子の同時測定用に、一つのカンチレバー上に複数個の接触子3を作成してある計測用カンチレバーc2と、またこのカンチレバーの両側に被検体測定端子面と接触子間のZ距離制御用に長めのカンチレバーc1を有する構造とした。
Claim (excerpt)：
電気試験用のプローブとして、導電性の接触子と片持ち梁(カンチレバー)を有し、同一あるいは、隣接するカンチレバーのたわみ信号より被検体面測定端子と接触子の押し込み力を制御し接触を確認し、つぎに接触子を通じて被検体の回路に電気信号を印加し、LSI回路の動作を確認する微小接触式プローバーにおいて、前記電気試験用のプローブとして複数個のカンチレバーを有し、また同一カンチレバー上に1ケ以上の接触子を隣りあって配置することを特徴とする微小接触式プローバー。
IPC (4)：
G01R 1/06 ,  G01N 13/16 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (4)：
G01R 1/06 F ,  G01N 13/16 C ,  G01R 1/073 F ,  H01L 21/66 B
F-Term (16)：
2G011AA03 ,  2G011AB00 ,  2G011AB06 ,  2G011AC21 ,  2G011AC31 ,  2G011AD01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD05 ,  4M106DD06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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