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J-GLOBAL ID：200903029115666723

走査型プローブ顕微鏡を用いた加工、記録、再生装置

Inventor：
冨田 英介

About 冨田 英介


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997092635
Publication number (International publication number)：1998283972
Application date： Apr. 10, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】 再現性よく表面形状測定が可能であり、加工精度、記録精度がよく、容易に情報の再生が可能な走査型プロ-ブ顕微鏡を用いた加工、記録、再生装置を提供する。【解決手段】 先端に探針を有するプロ-ブ1と、圧電振動体2と交流電圧発生手段3からなる加振部と、水晶振動子4と電流電圧増幅回路5からなる振動検出部と、プロ-ブを試料表面に接近させる粗動手段6と、Z軸微動素子11とZサ-ボ回路12とからなる試料とプロ-ブ間の距離制御手段と、XY微動素子13とXY走査回路14とからなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデ-タ処理手段15とからなり、さらに弾性体16のバネ圧でプロ-ブ1を水晶振動子4に固定することとした走査型プロ-ブ顕微鏡を用いた加工、記録、再生装置の構成とした。
Claim (excerpt)：
先端に探針を有するプローブと、圧電振動体と交流電圧発生手段からなる加振部と、水晶振動子と電流電圧増幅回路からなる振動検出部と、プローブを試料表面に接近させる粗動手段と、Z軸微動素子とZサーボ回路とからなる試料とプローブ間の距離制御手段と、XY微動素子とXY走査回路とからなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデータ処理手段とからなる走査型プローブ顕微鏡を用いた加工装置において、a)弾性体のバネ圧でプローブを水晶振動子に固定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を用いた加工装置。
IPC (4)：
H01J 37/30 ,  G01N 37/00 ,  G11B 9/00 ,  H01L 21/66
FI (4)：
H01J 37/30 Z ,  G01N 37/00 A ,  G11B 9/00 ,  H01L 21/66 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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