冷陰極およびこれを用いた電子銃とマイクロ波管

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995060887
Publication number (International publication number)：1996255558
Application date： Mar. 20, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】球面状の電子放出面を持つ冷陰極を実現し、電流密度が高く、リップルが小さい電子ビームを形成し、寿命の長い電子銃、ならびに高性能なマイクロ波管を実現する。【構成】球面状の基板1の上に、仕事関数の小さい材料で構成した電子放出領域あるいは、球面2の曲率半径中心あるいはその付近を通る集束イオンビーム(FIB)加工・形成した微小冷陰極を備えた電子放出領域を形成して冷陰極6を構成する。この冷陰極と、陰極電位のビーム形成電極21あるいは陰極電位を基準として正または負電位のビーム形成電極と、陽極22とで電子銃を構成し、この電子銃を用いてマイクロ波管をも構成する。

Claim (excerpt)：

球面上の曲面(32)を表面に有する基板(31)と、前記曲面(32)上に積層された薄膜上の電子放出層(33)とを有することを特徴とする冷陰極。

IPC (3)：

H01J 1/30 , H01J 23/04 , H01J 23/06

FI (4)：

H01J 1/30 C , H01J 1/30 Z , H01J 23/04 , H01J 23/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

電子放射素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-073992 Applicant：凸版印刷株式会社
特開平4-249841
ダイヤモンド材を電子源に用いた陰極ルミネセンス・ディスプレイ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-237268 Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド

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