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J-GLOBAL ID:200903044672267652
針状体の製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006315147
Publication number (International publication number):2008125864
Application date: Nov. 22, 2006
Publication date: Jun. 05, 2008
Summary:
【課題】大量生産に適し、側面が滑らかなテーパ角を有し、針状体の先端部を先鋭化した形状であっても製造可能な針状体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する工程と、前記ネガ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光処理を行う工程と、を含み、前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ネガ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有することを特徴とし、マイクロレンズの径および曲率を制御することにより、針状体の寸法および形状を制御することが出来る。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
微細な針状体の製造方法において、
透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する工程と、
前記ネガ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光処理を行う工程と、を含み、
前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ネガ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有すること
を特徴とする針状体の製造方法。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (10):
3C081AA19
, 3C081BA12
, 3C081CA23
, 3C081CA36
, 3C081DA43
, 3C081EA39
, 4C167AA71
, 4C167BB01
, 4C167CC05
, 4C167FF10
Patent cited by the Patent: