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J-GLOBAL ID:200903044734619550

微粒子測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004184190
Publication number (International publication number):2006010353
Application date: Jun. 22, 2004
Publication date: Jan. 12, 2006
Summary:
【課題】 被測定領域内の微粒子を高精度に迅速に測定することができ、また、当該微粒子測定装置を低コストで実現すること。【解決手段】 互いに異なる波長の光を出射する複数の半導体レーザ11,21と、これら半導体レーザ11,21からの出射光が気体中の微粒子に反射した散乱光を受光する受光素子とを円筒形部材内に配設し、受光素子で波長毎の光を受光する。そして、各受光素子での受光に応じて各受光素子から出力される電気信号から微粒子の数及び大きさを演算して求める。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
筐体内に外部から流体を吸引して外部へ排出し、この際その筐体内に流路状に流れる流体に光源からの出射光を照射し、この照射時に流体中に含まれる微粒子から散乱された散乱光を受光素子で受光し、この受光に応じて受光素子から出力される電気信号から微粒子の数及び大きさを演算して求める微粒子測定装置において、 前記光源として前記筐体内に配設され、互いに異なる波長の光を出射する複数の光源と、 前記複数の光源からの出射光により前記微粒子で発生した散乱光を受光する受光素子として前記筐体内に配設され、波長毎の光を受光する複数の受光素子と、 前記複数の受光素子での受光に応じて各受光素子から出力される電気信号から微粒子の数及び大きさを演算して求める演算手段と を備えたことを特徴とする微粒子測定装置。
IPC (2):
G01N 15/02 ,  G01N 15/06
FI (2):
G01N15/02 A ,  G01N15/06 C
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
  • 特開平4-290946号公報
  • 粒度分布測定装置
    Gazette classification:再公表公報   Application number:JP1998004008   Applicant:株式会社山武
Cited by examiner (7)
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