微小円筒形部品の穴径・同心度測定装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井ノ口壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994290645
Publication number (International publication number)：1996128815
Application date： Oct. 31, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】微小円筒形部品の穴径・同心度測定装置において、微小円筒形部品の取り付け構造を考慮し、測定点の細分化等のアルゴリズムおよびゴミや穴の欠け,その他の振動の影響を受けにくい測定アルゴリズムを採用することにより、穴の形状を判定しメカニカルなノイズ(表面粗さ,ゴミ付着)の影響を除去するとともに一層の測定時間の短縮化と測定の高精度化を図る。【構成】外周をベルト5により押さえ付けることによりブロック2にフェルール4を固定する。フェルール4の測定面の画像を対物レンズ6で取り入れ、CCDカメラ8でイメージ信号に変換して制御部18で、射影処理,ダレ検査,サブピクセルオーダの測定,局所再分化測定,穴ビツ測定することにより穴径を測定する。つぎに画像情報についてデータ領域を設定して一定角度ずつ回転させて中心位置を求め、ノイズ部分を除き穴中心の同心ズレ誤差を要因とする正弦波を作ることにより、同心度を求める。

Claim (excerpt)：

V字形状の微小円筒形部品固定用ブロックと、微小円筒形部品を前記ブロックのV字形状部分に搭載したとき円筒面を押さえて保持するとともに、この微小円筒形部品を回転させるベルトと、前記微小円筒形部品の測定面側とは反対側の側面から照明する光源と、前記測定面に対向して配置された光学レンズならびに前記光学レンズにより結像される像をイメージ信号に変換するCCDカメラよりなる撮像部と、前記撮像部をX軸,Y軸およびZ軸方向にそれぞれ移動可能なステージと、前記ベルトおよび各ステージを駆動する駆動手段と、前記イメージ信号を画像処理し所定のアルゴリズムに基づく演算を行うとともに前記駆動手段を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記撮像部をY軸移動させながら前記微小円筒形部品の側面の画像を取り込み、所定の演算処理を行うことにより撮像部を合焦位置にもたらす合焦制御シーケンスと、前記微小円筒形部品の穴全体を1画面で取り込み、射影処理を行うことにより仮想穴中心位置を求めるとともに穴の外周を等分割して複数の測定点を設定する工程,前記複数の各測定点の外周境界付近データに基づきダレ検査を行なう工程,前記複数の測定点毎の外周境界点を求め円の式に近似することにより穴中心座標と穴の半径を求める工程,前記穴中心座標と各測定点の外周境界点との距離を算出して距離が最大・最小になる測定点を求め、前記距離が最大となる測定点に基づき測定点をさらに細分割して局所細分化測定する工程,前記局所細分化測定で求めた測定点の外周境界点と前記穴中心座標との距離が最大となる最大測定点に基づき穴ビツ量測定を行なう工程ならびに前記局所細分化測定で得られた複数の測定点の外周境界点が前記穴の半径に対し、所定値以上のときはそれらを除いた測定点の外周境界点によって円に近似することにより近似した円の直径を穴径とする工程を含む穴径測定シーケンスと、前記穴径測定で求めた穴中心座標と穴径値をもとに穴の外周の最上点および最下点付近にデータ領域を設定する工程,前記データ領域内で複数のデータを取りそれぞれの測定点に対し外周境界点を求め、上下2つの外周境界点の中点を穴の垂直方向の穴中心座標とする工程,微小円筒形部品を所定角度回転させ、前記データ領域を設定する工程と穴の垂直方向の穴中心座標を求める工程を繰り返すことにより複数の穴中心座標を求める工程ならびに前記所定角度回転させた位置ごとの穴中心座標の変化を取ることにより穴中心の同心ズレ誤差を要因とする正弦波を作成するとともに前記正弦波の一周期未満のノイズとなる波形部分を除去し、前記正弦波を所定の式に近似することにより同心度を求める工程を含む同心度測定シーケンスとを有することを特徴とする微小円筒形部品の穴径・同心度測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/12 , G06T 1/00

FI (2)：

G06F 15/62 380 , G06F 15/64 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

微小円筒形部品寸法測定システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-350554 Applicant：東京航空計器株式会社
円状パターンの検査装置及びその検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-013106 Applicant：富士通株式会社
特開平2-268204

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