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J-GLOBAL ID：200903045599209980

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
宮谷 竜也

About 宮谷 竜也

, 
中島 邦雄

About 中島 邦雄


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998312590
Publication number (International publication number)：2000136993
Application date： Nov. 02, 1998
Publication date： May. 16, 2000
Summary：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡のXYZアクチュエータにチューブ型の圧電体が用いられるが、首振り運動によりXY方向へ走査するため、走査範囲が大きくなると、首振り運動による観察像の湾曲の度合いは大きくなり、コンピュータによるデータ処理で補正しなければならない。また、チューブを長くすると、XY方向の可動範囲を広げることができるが、共振周波数が低くなり、走査スピードが低下する。そこで、走査範囲を拡大しても観察像が湾曲せず、かつ走査スピードの低下しない走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 観察像の湾曲を防止するため、XYZ各方向に独立したアクチュエータで走査を行い、Z方向に最も共振周波数の高いアクチュエータ8を、Y方向に共振周波数が低く可動範囲の広いアクチュエータ2を用いることによって走査スピードを低下させずに走査範囲を拡大することを可能とした。
Claim (excerpt)：
微小なプローブが試料表面上を走査することによって、試料表面の微小な構造を観察する走査型プローブ顕微鏡において、前記試料表面に対して平行に、前記プローブと前記試料を相対的に移動させて走査するための、X方向へ駆動するX駆動手段およびY方向へ駆動するY駆動手段と、前記試料表面の凹凸に応じて、前記プロ-ブと前記試料表面を相対的に近づけたり遠ざけたりするための、Z方向へ駆動するZ駆動手段と、がそれぞれ独立した駆動手段からなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N 37/00 U ,  G01B 21/30 Z
F-Term (8)：
2F069AA60 ,  2F069DD20 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ08 ,  2F069MM32 ,  2F069MM38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 原子間力顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-292460   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 走査型探針装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-001276   Applicant：株式会社東芝
  • 走査型プローブ顕微鏡のプローブ走査機構
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-244131   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
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