歪検出器およびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：木下實三 , 中山寛二 , 石崎剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004216651
Publication number (International publication number)：2006038540
Application date： Jul. 23, 2004
Publication date： Feb. 09, 2006
Summary：

【課題】高い精度と信頼性を確保し、耐食性に優れた歪検出器および歪検出器の製造方法を提供すること。【解決手段】流体の圧力を測定する流体圧力センサ1は、起歪体であるダイアフラム部12、絶縁膜であるシリコン酸化膜21および結晶性シリコンの歪ゲージ20を備えており、ダイアフラム部12には機械強度と耐食性に優れたオーステナイト系の析出硬化型Fe-Ni耐熱鋼が用いられる。シリコン酸化膜21はその内部応力を-150〜130MPaに調整されて形成される。これにより、流体圧力センサ1は、高い精度と信頼性を確保し、かつ腐食性の高い流体の圧力をも計測できる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

外部応力により歪みが発生する起歪体と、前記起歪体の少なくとも一部に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、前記起歪体により発生した歪みを電気信号として検出する歪ゲージと、を備えた歪検出器であって、前記起歪体は、オーステナイト系の析出硬化型Fe-Ni耐熱鋼で形成され、前記絶縁膜は、シリコン酸化膜で形成されることを特徴とする歪検出器。

IPC (2)：

G01L 9/00 , G01L 1/22

FI (2)：

G01L9/00 303Z , G01L1/22 Z

F-Term (11)：

2F049CA01 , 2F049DA01 , 2F049DA02 , 2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD05 , 2F055EE15 , 2F055FF49 , 2F055GG11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

気密式の圧力変換器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-003231 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
歪抵抗材料とその製造方法および薄膜歪センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-021964 Applicant：住友電気工業株式会社
薄膜歪ゲージの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-026091 Applicant：株式会社日本自動車部品総合研究所

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