除振装置及び露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：立石篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995251888
Publication number (International publication number)：1997074061
Application date： Sep. 05, 1995
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】除振台が傾くことによる影響を受けることなく、外乱振動の抑制(制振)効果を向上させる。【解決手段】除振台が揺れた場合に、制御装置11の振動制御系では6つの変位センサ10及び6つの振動センサ5の出力に基づいて除振台の振動を抑制するようにアクチュエータ7A〜7D、32A〜32Cを駆動制御する。この場合において、振動補償系では、3つの鉛直方向変位センサ10Y1 、10Y2 、10Xの出力に基づいて得られる水平面に対する傾斜方向変位θx 、θy がアンプ64a、64bによってg倍され、加算器(60,62)、68に入力され、これらの加算器によって各水平方向加速度センサ5Y1 、5Y2 、5Xの検出値に含まれる重力加速度成分が除去される。

Claim (excerpt)：

少なくとも3個の除振パッドを介して水平に保持された除振台と;前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動する少なくとも3つのアクチュエータを含む複数のアクチュエータと;前記除振台の異なる点の鉛直方向変位を検出する少なくとも3つの鉛直方向変位センサを含む複数の変位センサと;前記除振台の水平面内の所定の方向の加速度を検出する水平方向加速度センサを少なくとも一つ含む複数の振動センサと;前記変位センサ及び振動センサの出力に基づいて前記除振台の振動を抑制するように前記各アクチュエータを駆動制御する振動制御系と;前記3つの変位センサの出力に基づいて得られる水平面に対する傾斜方向変位に基づいて前記各水平方向加速度センサの検出値に含まれる重力加速度成分を除去する振動補償系とを有する除振装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 , F16F 15/02 , G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 503 F , F16F 15/02 A , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 503 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

除振装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-250594 Applicant：鹿島建設株式会社, 株式会社荏原製作所
加振装置または振動除去装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-189833 Applicant：株式会社島津製作所
除振台の制御装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-358662 Applicant：キヤノン株式会社

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