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J-GLOBAL ID：200903046698626548

ナノチューブを用いた探針

Inventor： 桑原 正史 ,  富永 淳二
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002142836
Publication number (International publication number)：2003337099
Application date： May. 17, 2002
Publication date： Nov. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】ナノチューブのベース探針からの剥離を察知し、ナノチューブ探針の交換時期を容易に把握しうるナノチューブ探針を提供する。【解決手段】ベース探針の先端形状を非先鋭化し、これにナノチューブを固定して、ナノチューブ探針を構成する。

Claim (excerpt)：

ベースとなる探針の先端形状を非先鋭化し、該探針にナノチューブを固定化したことを特徴とするナノチューブ探針。

IPC (5)：

G01N 13/16 ZNM ,  B81B 1/00 ,  B81C 5/00 ,  B82B 3/00 ,  G12B 21/02

FI (5)：

G01N 13/16 ZNM C ,  B81B 1/00 ,  B81C 5/00 ,  B82B 3/00 ,  G12B 1/00 601 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• カーボンナノチューブを用いた陰極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-145556   Applicant：日本電気株式会社
• 垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー及びこれを使用した垂直式走査型顕微鏡用プローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-403558   Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡用のプローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-093515   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡用探針
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-342286   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 走査トンネル顕微鏡用探針およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-344516   Applicant：松下電器産業株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• カーボンナノチューブのナノエレクトロニクスへの応用