走査型プローブ顕微鏡用のプローブ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：坂上正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000093515
Publication number (International publication number)：2001281124
Application date： Mar. 30, 2000
Publication date： Oct. 10, 2001
Summary：

【要約】【課題】 AFMのティップと光プローブの両方の機能を持ち、AFMモードでイメージを取る場合、像の分解能が低下しないプローブを提供する。【解決手段】 SNOMとAFMの共用のカンチレバーであり、カンチレバーのティップ3部分に波長より短い直径の開口を有し、この開口から所定の位置にAFM測定用の突起[3-3]を有し、この突起[3-3]がカーボンナノチューブであることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

微細な探針(ティップ)つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査プローブ顕微鏡において走査プローブ顕微鏡のプローブとしてプローブ先端に、光の波長よりも短い直径の開口あるいは、光に透明な物質の窓があり、その開口あるいは窓の中心から所定の距離に探針用の突起を有するカンチレバーを設けたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用プローブ。

IPC (5)：

G01N 13/16 , G01B 7/34 , G01N 13/14 , G12B 21/08 , G12B 21/06

FI (5)：

G01N 13/16 C , G01B 7/34 Z , G01N 13/14 B , G12B 1/00 601 D , G12B 1/00 601 C

F-Term (9)：

2F063AA43 , 2F063CA08 , 2F063DA02 , 2F063DA05 , 2F063DD02 , 2F063EC06 , 2F063EC13 , 2F063EC14 , 2F063LA27

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

プローブ及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-034938 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
自己検知型SPMプローブ及びSPM装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-161175 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
微小変位素子及びその製造方法、及びそれを用いたトンネル電流検出装置、情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-107186 Applicant：キヤノン株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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