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J-GLOBAL ID：200903007630865557

走査型プローブ顕微鏡用探針

Inventor：
皆藤 孝

About 皆藤 孝

, 
安武 正敏

About 安武 正敏

, 
足立 達哉

About 足立 達哉


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 山田 益男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002342286
Publication number (International publication number)：2003240700
Application date： Nov. 26, 2002
Publication date： Aug. 27, 2003
Summary：
【要約】【課題】 本発明の課題は、構造的に細い上に耐磨耗性が高いと共に必要な剛性を持ち、試料面に対してチップが垂直になるようにカンチレバー先端に取り付け形成され、また素材が導電性を有し、分解能が安定で測定再現性がよいプローブ顕微鏡の探針を提供することまた、溝部側壁位置を測定できるプローブを提供することにある。【解決手段】 本発明のプローブ顕微鏡用の探針は、カンチレバー先端部にFIBを用いたCVDにより、タングステンあるいはDLCといった導電性素材の堅固な円筒柱状のチップを形成させたものであって、プローブ走査時に探針が試料面に垂直となる方向に成長形成させ、また、該探針先端部の形状が略球形形状となるように形成させたものである。また、試料の側壁の測定を可能とするため、探針先端部に円筒状チップ間の角度が既知である複数本のチップを形成するか、ベル形状探針とするようにした。
Claim (excerpt)：
微細な探針つきカンチレバーで試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーの探針先端に、集束イオンビーム装置の真空チャンバー内でイオンビームによって有機ガスを分解させ、分解した堆積物によって堅固な円柱状のチップを形成させたものであることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用探針。
IPC (4)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 ,  G12B 21/02
FI (4)：
G01N 13/16 C ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 A ,  G12B 1/00 601 A
F-Term (11)：
2F069AA51 ,  2F069BB15 ,  2F069DD06 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG11 ,  2F069HH30 ,  2F069LL02 ,  2F069LL04 ,  2F069LL13 ,  2F069MM04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 特願2000-363573
Cited by examiner (24)
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