Pat
J-GLOBAL ID:200903047034515397
半導体装置及びその駆動方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
稲垣 清
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000122040
Publication number (International publication number):2001308286
Application date: Apr. 24, 2000
Publication date: Nov. 02, 2001
Summary:
【要約】【課題】 漏れ電流の発生を抑制しながらも、2つの電極に挟まれた絶縁層をトンネルする電流発生時における電極間への印加電圧を従来に比して低下させ、絶縁層の劣化を抑制できる半導体装置、及び該半導体装置の駆動方法を提供する。【解決手段】 半導体装置は、絶縁体と、この絶縁体を挟む少なくとも2つの電極1、2とを備えており、絶縁体は、電極1に隣接する第1領域3と該第1領域3よりも誘電率が高い第2領域4とを有している。これにより、メモりに用いた場合、漏れ電流を抑制して蓄積電荷を長時間保持し、また、書込み等の駆動時には従来技術に比して電荷のエネルギーが小さい状態で第1領域に電子が流れ、第1領域の劣化が極めて小さい構造が得られる。
Claim (excerpt):
絶縁体と、該絶縁体を挟む少なくとも2つの電極とを備え、前記絶縁体は、前記電極の一方に隣接する第1領域と該第1領域よりも誘電率が高い第2領域とを有することを特徴とする半導体装置。
IPC (9):
H01L 27/10 451
, G02F 1/1365
, H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01L 21/8247
, H01L 27/115
, H01L 29/06
, H01L 29/788
, H01L 29/792
FI (6):
H01L 27/10 451
, H01L 29/06
, G02F 1/136 505
, H01L 27/04 C
, H01L 27/10 434
, H01L 29/78 371
F-Term (47):
2H092JA03
, 2H092JA23
, 2H092JA25
, 2H092JA29
, 2H092JA38
, 2H092JA42
, 2H092JB13
, 2H092JB23
, 2H092JB32
, 2H092JB57
, 2H092KA03
, 2H092MA05
, 2H092MA07
, 2H092MA12
, 2H092MA25
, 2H092NA22
, 2H092NA25
, 2H092PA01
, 5F001AA01
, 5F001AB02
, 5F001AC06
, 5F001AF06
, 5F038AC02
, 5F038AC03
, 5F038AC05
, 5F038AC16
, 5F038AC18
, 5F038DF05
, 5F038EZ01
, 5F038EZ20
, 5F083EP02
, 5F083EP22
, 5F083EP42
, 5F083EP54
, 5F083EP55
, 5F083ER02
, 5F083ER16
, 5F083GA21
, 5F083JA02
, 5F083JA05
, 5F083JA06
, 5F083JA36
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F083PR03
, 5F083PR21
, 5F083PR22
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
-
不揮発性半導体記憶装置及びその形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-198624
Applicant:沖電気工業株式会社
-
MOS型半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-175518
Applicant:株式会社東芝
-
特開昭64-055868
-
特開昭64-035963
-
不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-239582
Applicant:三菱電機株式会社
-
柱状構造を有する半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-240030
Applicant:株式会社日立製作所
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