感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994335913
Publication number (International publication number)：1996179508
Application date： Dec. 22, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、ビススルホニルジアゾメタン化合物およびイミドスルホネート化合物から選ばれる少なくとも1種からなる感放射線性酸発生剤、アルコキシメチル化ウレア化合物からなる架橋剤およびトリアルキルアミンからなる塩基性化合物を含有してなる感放射線性樹脂組成物。【効果】レジスト被膜の放射線照射量に対する許容幅が大きく、高解像度で矩形のパターンを形成することができ、感度、現像性、解像度等に優れた化学増幅型ネガ型レジストとして好適であり、現像時のレジストパターンのサイドエッチング現象および蛇行を効果的に抑制でき、i線等の紫外線、エキシマレーザー等の遠紫外線等の放射線、シンクロトロン放射線等のX線、電子線等の荷電粒子線といった遠紫外線以下の波長の放射線照射にも対応でき、半導体デバイス製造用の感放射線性樹脂組成物として好適に使用できる。

Claim (excerpt)：

A)アルカリ可溶性樹脂、B)ビススルホニルジアゾメタン化合物およびイミドスルホネート化合物から選ばれる少なくとも1種からなる感放射線性酸発生剤、C)アルコキシメチル化ウレア化合物からなる架橋剤およびD)トリアルキルアミンからなる塩基性化合物を含有してなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

ネガ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-344085 Applicant：富士写真フイルム株式会社
ネガ型感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-287804 Applicant：日本合成ゴム株式会社
ネガ型フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-005797 Applicant：住友化学工業株式会社

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