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J-GLOBAL ID：200903047244502468

ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜および耐摩耗性、耐摺動性に優れた部材

Inventor：
岩村 栄治

About 岩村 栄治


Applicant, Patent owner：
株式会社神戸製鋼所

About 株式会社神戸製鋼所


Agent (1)： 本田 ▲龍▼雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000081969
Publication number (International publication number)：2001261318
Application date： Mar. 23, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 耐摩耗性に優れ、しかも摩擦係数が低く、引いては優れた摺動特性を有するコーティング膜および同特性に優れた部材を提供する。【解決手段】 本発明のコーティング膜は、炭素を主成分としたアモルファス構造体であって、平均径2nm以上からなるグラファイトクラスターを含む低硬度硬質炭素層4と平均径1nm以下からなるグラファイトクラスターを含む高硬度硬質炭素層5が交互に積層されたDLC硬質多層膜3である。前記低硬度硬質炭素層4におけるグラファイトクラスターは、グラファイトのc面が球核状に積層したシェル構造を持つものが好ましい。また、最外層Aを低硬度硬質炭素層で形成し、その層厚を2nm〜200nmとすることが好ましい。また、本発明の部材は、基材1に中間層2を介して前記DLC硬質多層膜3が積層形成されたものである。
Claim (excerpt)：
炭素を主成分としたアモルファス構造体であって、平均径2nm以上からなるグラファイトクラスターを含む低硬度硬質炭素層と平均径1nm以下からなるグラファイトクラスターを含む高硬度硬質炭素層が交互に積層されたダイセモンドライクカーボン硬質多層膜。
IPC (4)：
C01B 31/02 101 ,  C23C 14/22 ,  C23C 28/04 ,  C22C 26/00
FI (4)：
C01B 31/02 101 Z ,  C23C 14/22 C ,  C23C 28/04 ,  C22C 26/00 Z
F-Term (26)：
4G046CB01 ,  4G046CB08 ,  4G046CC06 ,  4K029AA04 ,  4K029BA02 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BA60 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD03 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029FA04 ,  4K044AA02 ,  4K044AA06 ,  4K044AA09 ,  4K044AA11 ,  4K044AA12 ,  4K044AA13 ,  4K044AA16 ,  4K044BA18 ,  4K044BB02 ,  4K044BB17 ,  4K044BC01 ,  4K044CA13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 炭素膜及びその形成方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-230459   Applicant：日新電機株式会社
  • 硬質炭素系被膜
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-259832   Applicant：三洋電機株式会社
Cited by examiner (2)
  • 炭素膜及びその形成方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-230459   Applicant：日新電機株式会社
  • 硬質炭素系被膜
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-259832   Applicant：三洋電機株式会社
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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