超純水の比抵抗調整装置及び調整方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋勝利
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997308466
Publication number (International publication number)：1999139804
Application date： Nov. 11, 1997
Publication date： May. 25, 1999
Summary：

【要約】【課題】制御機構の不要な簡便かつコンパクトな超純水の比抵抗値を調整する装置及び方法を提供する。【解決手段】中空糸膜外側とハウジングの間の空間部に超純水を流し、中空糸膜の内側に炭酸ガスを給気する外部潅流型モジュールであり、中空糸膜の内側から中空糸膜外側の超純水中への炭酸ガスの総括透過速度が1×10-7以上1×10-4以下[cm2(STP)/cm2・sec・cmHg]となるように中空糸膜が複数本収束された状態でハウジング内に配設された中空糸膜モジュールと、膜モジュールに供給される炭酸ガスの圧力を一定に保持するための調圧弁とからなる超純水の比抵抗調整装置及び方法。

Claim (excerpt)：

超純水の比抵抗を調整するために、中空糸膜モジュールを用いて超純水に炭酸ガスを供給し、所望の比抵抗値の超純水を製造する装置において、中空糸膜外側とハウジングの間の空間部に超純水を流し、中空糸膜の内側に炭酸ガスを給気する外部潅流型であり、中空糸膜の内側から中空糸膜外側の超純水中への炭酸ガスの総括透過速度が1×10-7以上1×10-4以下[cm3(STP)/cm2・sec・cmHg]となるように中空糸膜が複数本収束された状態でハウジング内に配設された中空糸膜モジュールと、膜モジュールに供給される炭酸ガスの圧力を一定に保持するための調圧弁とからなる超純水の比抵抗調整装置。

IPC (5)：

C01B 5/00 , B01D 63/02 , B01F 1/00 , C02F 1/44 , H01L 21/304 648

FI (6)：

C01B 5/00 Z , B01D 63/02 , B01F 1/00 B , B01F 1/00 A , C02F 1/44 J , H01L 21/304 648 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

超純水の比抵抗調整方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-215932 Applicant：三菱レイヨン株式会社
炭酸泉の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-127608 Applicant：三菱レイヨン株式会社
気液接触用隔膜、気液接触装置及び気体溶解液体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-158541 Applicant：大日本インキ化学工業株式会社

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