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J-GLOBAL ID:200903047626388215
送り装置、及びそれを用いた近接場光学顕微鏡
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
,
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Agent (1):
岩橋 祐司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000151530
Publication number (International publication number):2001330547
Application date: May. 23, 2000
Publication date: Nov. 30, 2001
Summary:
【要約】【課題】 本発明の目的は、送り移動が高精度にかつ容易に行なえる送り装置を提供することにある。【解決手段】 回転体の回転運動を、雄ネジ及び雌ネジを介して直線移動体の直線運動に変換する送り装置において、前記雄ネジに、ネジが設けられたネジ設置部136a,bと、該ネジが設けられていないネジ非設置部137と、を設け、前記回転体138の回転運動を、前記雄ネジのネジ設置部136a,b及び雌ネジ140を介して、前記直線移動体130の直線運動に変換することを特徴とする送り装置132。
Claim (excerpt):
雄ネジ及び該雄ネジが螺入される雌ネジのうち、一方のネジが設けられた回転体と、他方のネジが設けられた直線移動体と、を備え、回転体の回転運動を、雄ネジ及び雌ネジを介して直線移動体の直線運動に変換する送り装置において、前記雄ネジに、ネジが設けられたネジ設置部と、該ネジが設けられていないネジ非設置部と、を設け、前記回転体の回転運動を、前記雄ネジのネジ設置部及び雌ネジを介して、前記直線移動体の直線運動に変換することを特徴とする送り装置。
IPC (5):
G01N 13/10
, G01B 11/30
, G01N 13/14
, G12B 21/20
, G01N 13/16
FI (5):
G01N 13/10 B
, G01B 11/30 Z
, G01N 13/14 A
, G01N 13/16 A
, G12B 1/00 601 G
F-Term (14):
2F065AA49
, 2F065AA54
, 2F065FF00
, 2F065FF41
, 2F065JJ01
, 2F065JJ16
, 2F065JJ22
, 2F065LL02
, 2F065MM03
, 2F065MM14
, 2F065MM15
, 2F065PP12
, 2F065PP22
, 2F065PP24
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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ネジのバックラッシュ除去方法及び機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-333706
Applicant:日本電信電話株式会社
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特開昭63-259264
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走査型近視野光学顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-094122
Applicant:セイコーインスツルメンツ株式会社
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送り装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-053812
Applicant:株式会社リコー
-
XYステージ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-197908
Applicant:株式会社ニコン
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超精密送り装置およびこれを用いたXYテ-ブル並びにテ-ブル移送装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-154156
Applicant:畑村洋太郎
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Cited by examiner (7)
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ネジのバックラッシュ除去方法及び機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-333706
Applicant:日本電信電話株式会社
-
特開昭63-259264
-
走査型近視野光学顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-094122
Applicant:セイコーインスツルメンツ株式会社
-
特開昭63-259264
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送り装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-053812
Applicant:株式会社リコー
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XYステージ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-197908
Applicant:株式会社ニコン
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超精密送り装置およびこれを用いたXYテ-ブル並びにテ-ブル移送装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-154156
Applicant:畑村洋太郎
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