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J-GLOBAL ID：200903047825863860

角速度センサ

Inventor：
持田 洋一

About 持田 洋一

, 
森屋 和文

About 森屋 和文


Applicant, Patent owner：
株式会社村田製作所

About 株式会社村田製作所


Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999186529
Publication number (International publication number)：2000337884
Application date： Jun. 30, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】 支持基板と素子基板との異なる熱膨張係数の作用による駆動と検出の共振周波数の差を縮小して検出感度を向上させる。【解決手段】 支持基板1上には、支持基板1と熱膨張係数を異なる材料からなる支持固定部2a,2bを形成する。そして、支持固定部2a,2bには、第1支持梁4,5を介してX軸方向に振動可能に支持される第1振動体3と、この第1振動体3に第2支持梁7,8を介してY軸方向に振動可能に支持される第2振動体6を設ける。また、第1支持梁4,5は、第1振動体3の振動方向に対して直交方向に伸長して設け、それらの両端は第1振動体3の端部に結合すると共にそれらの中間部は支持固定部2a,2bにそれぞれ結合させる。
Claim (excerpt)：
支持基板と、この支持基板に設けられた支持固定部と、該支持固定部に結合された第1支持梁と、該第1支持梁により支持された第1振動体と、該第1振動体に結合された第2支持梁と、該第2支持梁により支持されてコリオリ力発生方向に振動する第2振動体と、これら第1,第2振動体を一定の方向に振動させる駆動手段と、前記第2振動体に加わるコリオリ力に基づく前記第2振動体の変位を検出する検出手段とからなる角速度センサにおいて、前記第1支持梁は、少なくとも前記第1振動体の振動方向と直交する方向に伸長し、その両端が前記第1振動体に結合され、長さ方向の中間部を前記支持固定部に結合したことを特徴とする角速度センサ。
IPC (3)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z
F-Term (20)：
2F105AA02 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB04 ,  2F105BB09 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112FA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 振動子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-303069   Applicant：株式会社村田製作所
  • 角速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-163851   Applicant：アイシン精機株式会社
  • 角速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-203560   Applicant：アイシン精機株式会社
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