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J-GLOBAL ID:200903048607917360

分類装置及び分類方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (8): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004191709
Publication number (International publication number):2006012069
Application date: Jun. 29, 2004
Publication date: Jan. 12, 2006
Summary:
【課題】精度の高い分類を行うことができる分類装置を提供する。【解決手段】検査画像より分類対象の欠陥領域を抽出する欠陥領域抽出手段101と、領域の抽出形状が識別可能となるように表示する表示手段102と、領域が分類されるべき正解カテゴリを入力する操作手段104と、操作手段104の入力結果を基に教師データを作成する教師データ作成手段105と、教師データを基に分類を行う分類手段107とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
検査画像より分類対象の領域を抽出する領域抽出手段と、 前記領域の抽出形状が識別可能となるように表示する表示手段と、 前記領域が分類されるべき正解カテゴリを入力する操作手段と、 該操作手段の入力結果を基に教師データを作成する教師データ作成手段と、 前記教師データを基に分類を行う分類手段とを備えたことを特徴とする分類装置。
IPC (5):
G06T 7/00 ,  G06F 17/30 ,  G06N 3/00 ,  G06N 5/04 ,  H01L 21/66
FI (8):
G06T7/00 250 ,  G06F17/30 170B ,  G06F17/30 210D ,  G06F17/30 310Z ,  G06F17/30 350C ,  G06N3/00 560C ,  G06N5/04 580P ,  H01L21/66 J
F-Term (17):
4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ23 ,  5B075ND06 ,  5B075NR12 ,  5B075PP10 ,  5B075QM05 ,  5L096BA03 ,  5L096EA35 ,  5L096FA14 ,  5L096FA60 ,  5L096FA66 ,  5L096GA08 ,  5L096JA22 ,  5L096MA07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (4)
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