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J-GLOBAL ID：200903048705994712

ダイヤモンド膜の製造方法

Inventor： 御宿 和人 ,  平木 昭夫 ,  八田 章光
Applicant, Patent owner： グンゼ株式会社 ,  平木 昭夫 ,  八田 章光
Agent (1)： 三枝 英二 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995078094
Publication number (International publication number)：1996245292
Application date： Mar. 08, 1995
Publication date： Sep. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】水素ガスを含む炭素源ガスの気相反応によるダイヤモンド膜の製造に関し、該水素ガスを分離し再利用に供する。【構成】真空反応容器中に水素ガスを含む炭素源ガスを送り、気相反応によってダイヤモンド膜を製造する過程で排出される水素ガスを含む廃ガスを高温下でパラジウム又はその合金からなる膜に接触せしめ、該膜を透過した水素ガスをダイヤモンド膜の製造に再利用することを特徴とするダイヤモンド膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

真空反応容器中に水素ガスを含む炭素源ガスを送り、気相反応によってダイヤモンド膜を製造する過程で排出される水素ガスを含む廃ガスを高温下でパラジウム又はその合金からなる膜に接触せしめ、該膜を透過した水素ガスをダイヤモンド膜の製造に再利用することを特徴とするダイヤモンド膜の製造方法。

IPC (4)：

C30B 25/14 ,  B01D 53/22 ,  B01D 71/02 500 ,  C30B 29/04

FI (5)：

C30B 25/14 ,  B01D 53/22 ,  B01D 71/02 500 ,  C30B 29/04 R ,  C30B 29/04 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ダイヤモンドの合成方法および合成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-023959   Applicant：出光石油化学株式会社
• ダイヤモンド合成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-053274   Applicant：新日本無線株式会社
• 水素分離膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-334547   Applicant：三菱化工機株式会社
• 化学的気相成長装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-107755   Applicant：新日本製鐵株式会社