Pat
J-GLOBAL ID:200903048905214800
半導体式ガス検知素子
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
北村 修一郎
, 山▲崎▼ 徹也
, 太田 隆司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007081595
Publication number (International publication number):2008241430
Application date: Mar. 27, 2007
Publication date: Oct. 09, 2008
Summary:
【課題】長期間に亘ってガス選択性を有する半導体式ガス検知素子を提供する。【解決手段】ガス感応部2と、ガス感応部2を被覆する触媒層3とを備える半導体式ガス検知素子Rsであって、触媒層3は、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄、酸化セリウムからなる群から選択される少なくとも1種の金属酸化物を含む金属酸化物半導体に、セリウム、スズ、アルミニウム、ランタン、ニオブ、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、ネオジム、ガドリニウム、バナジウム、シリコン、マグネシウムからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素を固溶させた金属複合酸化物を含有する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
ガス感応部と、当該ガス感応部を被覆する触媒層とを備える半導体式ガス検知素子であって、
前記触媒層は、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄、酸化セリウムからなる群から選択される少なくとも1種の金属酸化物を含む金属酸化物半導体に、セリウム、スズ、アルミニウム、ランタン、ニオブ、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、ネオジム、ガドリニウム、バナジウム、シリコン、マグネシウムからなる群から選択される少なくとも1種の金属元素を固溶させた金属複合酸化物を含有する半導体式ガス検知素子。
IPC (2):
FI (3):
G01N27/12 C
, G01N27/12 B
, G01N27/18
F-Term (55):
2G046AA05
, 2G046AA24
, 2G046BA02
, 2G046BA06
, 2G046BA09
, 2G046BC03
, 2G046BE02
, 2G046BE07
, 2G046BE08
, 2G046BF01
, 2G046DB05
, 2G046DC14
, 2G046DD01
, 2G046EA03
, 2G046EA04
, 2G046EA10
, 2G046EA12
, 2G046EB01
, 2G046FB02
, 2G046FE03
, 2G046FE12
, 2G046FE15
, 2G046FE18
, 2G046FE20
, 2G046FE22
, 2G046FE24
, 2G046FE35
, 2G046FE38
, 2G046FE39
, 2G046FE44
, 2G046FE45
, 2G046FE47
, 2G046FE48
, 2G046FE49
, 2G060AA01
, 2G060AB03
, 2G060AB21
, 2G060AE19
, 2G060AF02
, 2G060AF07
, 2G060AG01
, 2G060AG15
, 2G060BA01
, 2G060BA05
, 2G060BB09
, 2G060BB16
, 2G060BB18
, 2G060HA01
, 2G060HB06
, 2G060HC10
, 2G060HC18
, 2G060HD03
, 2G060HE01
, 2G060JA01
, 2G060KA01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (8)
-
特開昭49-129596号公報
-
ガス検知素子及びそれを有するガス検知装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-336069
Applicant:矢崎総業株式会社
-
特開平2-263145
-
水素ガス検知素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-091078
Applicant:新コスモス電機株式会社
-
基板型半導体式ガスセンサ及びガス検出器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-048393
Applicant:新コスモス電機株式会社
-
ガスセンサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-336244
Applicant:フィガロ技研株式会社
-
ガスセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-097806
Applicant:秩父小野田株式会社
-
半導体ガスセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-224804
Applicant:エフアイエス株式会社, 大阪瓦斯株式会社
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Cited by examiner (7)
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特開平2-263145
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水素ガス検知素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-091078
Applicant:新コスモス電機株式会社
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基板型半導体式ガスセンサ及びガス検出器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-048393
Applicant:新コスモス電機株式会社
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ガスセンサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-336244
Applicant:フィガロ技研株式会社
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ガスセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-097806
Applicant:秩父小野田株式会社
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半導体ガスセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-224804
Applicant:エフアイエス株式会社, 大阪瓦斯株式会社
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ガス検知素子及びそれを有するガス検知装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-336069
Applicant:矢崎総業株式会社
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