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J-GLOBAL ID:200903049106694669

配線材料及びそれを用いた配線基板

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊藤 充
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002143318
Publication number (International publication number):2003342653
Application date: May. 17, 2002
Publication date: Dec. 03, 2003
Summary:
【要約】【課題】 Cuを主成分とする合金(Cu合金)であって、ガラス基板やシリコン膜との密着性が改善された合金を実現し、このCu合金を用いた配線材料を提供することである。【解決手段】 Auおよび/またはCoと、CuとからなるCu合金であって、Cuの組成比率が80〜99.5wt%であり、Auの組成比率とCuの組成比率の和が0.5〜20wt%であることを特徴とするCu合金を、配線材料として提案する。このような構成の配線材料をスパッタ法によってガラス基板やシリコンウェハ上に成膜したところ、電気抵抗が十分に低く、かつ、基板との強い密着強度が観察された。
Claim (excerpt):
Auおよび/またはCoと、CuとからなるCu合金であって、Cuの組成比率が80〜99.5wt%であり、Auの組成比率とCoの組成比率の和が0.5〜20wt%であることを特徴とするCu合金からなる配線材料。
IPC (9):
C22C 9/06 ,  C22C 9/00 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/786
FI (11):
C22C 9/06 ,  C22C 9/00 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/28 301 R ,  H01L 21/285 S ,  H01L 29/50 M ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 21/88 M ,  H01L 29/78 617 M ,  H01L 29/78 616 V
F-Term (96):
2H092GA11 ,  2H092GA31 ,  2H092HA03 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA47 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092KB13 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  4M104AA01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD08 ,  4M104DD17 ,  4M104DD22 ,  4M104DD37 ,  4M104DD64 ,  4M104GG04 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG20 ,  4M104HH08 ,  4M104HH16 ,  5F033HH12 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ12 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK05 ,  5F033KK12 ,  5F033LL02 ,  5F033MM05 ,  5F033NN06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ92 ,  5F033RR06 ,  5F033SS11 ,  5F033VV00 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033WW04 ,  5F033XX10 ,  5F033XX13 ,  5F033XX14 ,  5F033XX34 ,  5F110AA03 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE06 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG35 ,  5F110GG45 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK25 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN12 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110QQ03 ,  5F110QQ09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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