感光性組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999023935
Publication number (International publication number)：1999282167
Application date： Feb. 01, 1999
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】電子線露光においても、断面矩形でかつ一定の寸法精度を有するレジストパターンを、高い感度で形成可能なポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性基の一部または全部が酸により分解し得る置換基で保護されたアルカリ可溶性樹脂と、化学放射線の照射により酸を発生する化合物と、酸触媒の作用により水を発生する化合物とを含有するポジ型感光性組成物である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性基の一部または全部が酸により分解し得る置換基で保護されたアルカリ可溶性樹脂と、化学放射線の照射により酸を発生する化合物と、酸触媒の作用により水を発生する化合物とを含有するポジ型感光性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-050218 Applicant：株式会社東芝
ポジ型フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-323191 Applicant：信越化学工業株式会社
放射線感応性組成物及びそれを用いたパタン形成法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-249071 Applicant：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社

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