物理量センサおよび物理量センサの検出方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005106456
Publication number (International publication number)：2006284441
Application date： Apr. 01, 2005
Publication date： Oct. 19, 2006
Summary：

【課題】接着強度の向上および電極数の増加が可能な物理量センサおよび物理量センサの検出方法を提供する。【解決手段】コア部4と、少なくとも1本の梁部7と、重錘部2と、少なくとも1以上の補助部5を備える。コア部4は支持部3を構成する。少なくとも1本の梁部7は、コア部4から延びるように形成される。重錘部2は、梁部7においてコア部4と接続された一方端部と反対側に位置する他方端部に接続されることにより、支持部3に支持される。補助部5は、梁部7と間隙9を介して配置されると共に、コア部4と連結された支持部3を構成する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

支持部を構成するコア部と、前記コア部から外側に延びるように形成された少なくとも1本の梁部と、前記梁部において前記コア部と接続された一方端部と反対側に位置する他方端部に接続されることにより、前記支持部に支持される重錘部と、前記梁部と間隙を介して配置されると共に、前記コア部と連結された前記支持部を構成する少なくとも1以上の補助部とを備える、物理量センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 , G01P 15/18

FI (2)：

G01P15/12 D , G01P15/00 K

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特開平3-67177号公報

Cited by examiner (5)

特開平3-202778
半導体加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-257036 Applicant：松下電工株式会社
加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-101928 Applicant：住友金属工業株式会社, 株式会社ワコー

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