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J-GLOBAL ID：200903005655781738

加速度センサ

Inventor：
原田 宗生

About 原田 宗生

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池内 直樹

About 池内 直樹

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橋本 浩幸

About 橋本 浩幸

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岡田 和廣

About 岡田 和廣


Applicant, Patent owner：
住友金属工業株式会社

About 住友金属工業株式会社

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株式会社ワコー

About 株式会社ワコー


Agent (1)： 河野 登夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001101928
Publication number (International publication number)：2002296293
Application date： Mar. 30, 2001
Publication date： Oct. 09, 2002
Summary：
【要約】【課題】 重量を大きくすることができるとともに、ビームの長さを長くして検出感度を従来の加速度センサより向上させることができ、周波数特性及び耐衝撃性が良好であり、小型化が可能である加速度センサを提供する【解決手段】 マイクロ構造体からなるセンサ部1は、矩形の枠部11を有し、枠部11の中心部には円柱状の重錘体12が設けられている。この重錘体12は枠部11の各辺の中央部と、ビーム13,13,13,13により接続されている。そして、四角柱状の補助重錘体14,14,14,14が、ビーム13,13と枠部11の内周面とにより包囲される空間内に遊挿する状態で、重錘体12に連設してある。
Claim (excerpt)：
微細加工プロセスにより製造されるマイクロ構造体の加速度の作用に基づく機械的変形を、前記マイクロ構造体に形成した抵抗素子の電気抵抗の変化により検出して、加速度の向き及び大きさを検出すべくなしてある加速度センサにおいて、前記マイクロ構造体は、枠部と、前記枠部の略中心部に設けられた重錘体と、前記重錘体と前記枠部とを接続するものであり、交叉する二直線状をなす4本のビームと、前記ビームのうちの2本と前記枠部の内周面とにより包囲される空間内に遊挿する状態で前記重錘体に連設された、少なくとも1つの補助重錘体とを有し、前記枠部表面を含む第1主面に対して前記マイクロ構造体中心の垂直上方から見たときに、前記4本のビームのそれぞれの長さが同じであり、前記マイクロ構造体の第1主面中心を軸として90度回転させたときの前記垂直上方から見た前記枠部、前記重錘体、及び前記4本のビームの写像が、元の写像と同じになり、前記マイクロ構造体の第1主面の反対側の主面を第2主面としたとき、第1主面と第2主面とは、前記マイクロ構造体中心の垂直上方から見たときに、前記重錘体及び前記補助重錘体における平面視が略同じであり、さらに、前記重錘体及び前記補助重錘体が同一の厚みを有し、かつ前記枠部と略同じ厚みであり、各主面がパッケージと相対する際に、前記パッケージに対して前記重錘体及び前記補助重錘体の各主面部分が、僅かに離間して保持されるように形成されており、前記抵抗素子は、前記ビーム上に形成してあることを特徴とする加速度センサ。
IPC (5)：
G01P 15/12 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G01P 15/18 ,  H01L 29/84
FI (5)：
G01P 15/12 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  H01L 29/84 A ,  G01P 15/00 K
F-Term (5)：
4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA25 ,  4M112CA29 ,  4M112FA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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