移動表面の自動的な検査のための方法及び装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：野口繁雄
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000507998
Publication number (International publication number)：2001514386
Application date： Jul. 21, 1998
Publication date： Sep. 11, 2001
Summary：

【要約】移動表面の自動的な検査のための方法及び装置において、検査される表面(S)は、第1の信号(R)を得るために、第1の照射/観察経路によって第1の観察条件下で観察され、その表面(S)は、第2の信号(G)及び第3の信号(B)を得るために、第2及び第3の照射/観察経路によって第2の観察条件下で観察され、第1、第2及び第3の信号(R,G,B)から、その表面(S)の物理的特性についての情報が導かれる。

Claim (excerpt)：

少なくとも3つの異なる照射/観察経路を使用する、移動表面の自動的検査のための方法において、 a)第1の信号(R)を得るために、検査される前記表面(S)を第1の光源(L1)からの第1の光束(312)によって明視野条件下で照射し、前記表面(S)から再放射された第1の光束の光を光感受センサー装置(C)によって受ける工程、 b)第2の信号(G)及び第3の信号(B)を得るために、前記表面(S)を第2及び第3の光源(L2,L3)からの第2の光束(314)及び第3の光束(316)によって暗視野条件下でそれぞれ照射し、前記第1、第2及び第3の光束(312、314,316)は異なる特性をもっており、及び前記表面(S)から再放射された第2の光束の光と第3の光束の光をそれぞれ前記光感受センサー装置(C)によって受ける工程、並びに c)前記第1、第2及び第3の信号(R,G,B)から前記表面(S)の物理的特性を導く工程、を備えている方法。

IPC (3)：

G01N 21/57 , G01N 21/27 , G01N 21/89

FI (3)：

G01N 21/57 , G01N 21/27 Z , G01N 21/89 Z

F-Term (47)：

2G051AA37 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BB05 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CD03 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA17 , 2G051EA20 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059CC20 , 2G059DD12 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059EE13 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059GG03 , 2G059GG10 , 2G059JJ02 , 2G059JJ07 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059KK04 , 2G059MM02 , 2G059MM03 , 2G059MM05 , 2G059MM09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-307603 Applicant：芳賀一実, 株式会社レイテックス
特開平2-141604
特開平2-216407

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