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J-GLOBAL ID：200903049537438481

位置検出装置およびそれを用いた露光装置

Inventor：
稲田 博志

About 稲田 博志


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001338327
Publication number (International publication number)：2003142375
Application date： Nov. 02, 2001
Publication date： May. 16, 2003
Summary：
【要約】【課題】 ウエハ上に形成されたアライメントマークへの照明状態を調整し高精度なアライメントマークの位置検出を行う。【解決手段】 ウエハ上に形成されたアライメントマークに照明光を照射する照明光学系と、照明光によるアライメントマークからの反射・回折・散乱による検出光を対物レンズ・検出光学系によりアライメントマーク像として画像検出素子上に形成し、そのアライメントマークの検出信号に基づいてアライメントマークの位置を検出する位置検出装置において、照明光源および照明開口絞りの組合せからなる照明条件の変更に伴い、複数の照明開口絞りが構成された円盤の初期位置からの回転量と平行平面板の初期位置からの傾け量の調整を行う。
Claim (excerpt)：
基板上に形成された位置合わせマークを照明する照明系と、前記位置合わせマークの像を結像する結像系とを備え、結像された位置合わせマークに基づいて前記基板の所定の位置基準に対する位置ずれを検出する位置検出装置において、前記照明系の瞳面に配置された照明開口絞りと、この照明開口絞りを照明光束の光軸と直交する方向に変位させる変位手段と、前記瞳面近傍に配置されて前記照明開口絞りを通過した照明光束を透過する平行平面板と、この平行平面板を前記照明開口絞りの移動方向に平行な軸の回りに傾ける傾け手段と、前記変位手段により前記照明開口絞りの前記瞳面内における位置を調整し、前記傾け手段により前記瞳面に対する前記平行平面板の傾きを調整して前記結像系の結像開口絞りに対する前記照明開口絞りの位置を調整する照明状態制御手段とを具備することを特徴とする位置検出装置。
IPC (4)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00
FI (5)：
G01B 11/00 H ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 R ,  H01L 21/30 502 G
F-Term (37)：
2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065EE00 ,  2F065EE03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF41 ,  2F065FF49 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG05 ,  2F065HH10 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL29 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065NN03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  5F046AA28 ,  5F046BA04 ,  5F046FA03 ,  5F046FA05 ,  5F046FA07 ,  5F046FA17 ,  5F046FB17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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