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J-GLOBAL ID：200903049598400762

情報記憶媒体用ガラス基板材またはガラスセラミックス基板材の加工方法

Inventor：
後藤 直雪

About 後藤 直雪

, 
岸 孝之

About 岸 孝之


Applicant, Patent owner：
株式会社オハラ

About 株式会社オハラ


Agent (1)： 坂本 徹 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000070704
Publication number (International publication number)：2000339672
Application date： Mar. 14, 2000
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】 情報記憶媒体用ガラス基板材またはガラスセラミックス基板材の加工方法において、一次ラップ加工、二次加工後の基板表面特性を著しく向上させる、情報記憶媒体用ガラス基板材またはガラスセラミックス基板材の加工方法を提供する。【解決手段】 ダイヤモンドペレットを用いてラップ加工した後、二次加工として、ダイヤモンドパッドにて精研削加工する基板材の加工方法であって、該ダイヤモンドパッドは平坦な頂部を有したタイル状凸起を有し、該タイル状凸起は樹脂系素材にダイヤモンド砥粒が固定されてなることを特徴とする、情報記憶媒体用ガラス基板材またはガラスセラミックス基板材の加工方法。
Claim (excerpt)：
一次ラップ加工と二次加工を含む基板材の加工方法であって、該一次ラップ加工はレジン,メタル,ビトリファイド等のボンドにダイヤモンド砥粒が固定されたダイヤモンドペレットを用いてラップ加工することを特徴とし、該二次加工は、該一次ラップ加工の後、ダイヤモンドパッドにて精研削加工する工程であって、該ダイヤモンドパッドは平坦な頂部を有した多数のタイル状凸起を有し、該タイル状凸起は樹脂系素材にダイヤモンド砥粒が固定されてなることを特徴とする、情報記憶媒体用ガラス基板材またはガラスセラミックス基板材の加工方法。
IPC (6)：
G11B 5/84 ,  B24B 1/00 ,  C03C 3/078 ,  C03C 3/087 ,  C03C 19/00 ,  G11B 5/73
FI (6)：
G11B 5/84 A ,  B24B 1/00 D ,  C03C 3/078 ,  C03C 3/087 ,  C03C 19/00 Z ,  G11B 5/73
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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